Analisis Hasil Deposisi Implantasi Ion Nitrogen pada Lapisan D.C. Magnetron Sputtering Aluminium terhadap Ketahanan Korosi Permukaan Baja Aisi 410

Abstract

Baja AISI 410 termasuk baja martensitik memiliki sifat mekanis yang baik, sehingga banyak digunakan dalam berbagai aplikasi, seperti: peralatan bedah, pisau, sudu turbin dan peralatan eksplorasi pertambangan. Kelemahan baja AISI 410 terletak pada ketahanan korosinya yaitu dibawah baja feritik dan austenitik, dan rentan mengalami pitting corrosion. Penelitian ini bertujuan untuk memperbaiki ketahanan korosi baja AISI 410 agar setara dengan baja feritik atau austenitik, tetapi memiliki sifat mekanis yang baik. Metode penelitian dilakukan dengan memberikan deposisi d.c magnetron sputtering aluminium, selanjutnya dilakukan implantasi ion nitrogen. Implantasi ion nitrogen dilakukan dengan variasi waktu 20, 30 dan 40 menit. Pengujian yang dilakukan meliputi: uji kekerasan, uji keausan permukaan, dan uji korosi. Observasi SEM/EDX dilakukan untuk menganalisis deposisi aluminium dan nitrogen pada permukaan baja AISI 410. Hasil penelitian menunjukkan bahwa kekerasan tertinggi dapat dicapai untuk waktu implantasi 30 menit sebesar 230 VHN, akan tetap laju korosi terendah dicapai pada waktu implantasi 40 menit. Implantasi ion nitrogen pada lapisan deposisi d.c. magnetron sputering aluminium tidak berpengaruh signifikan terhadap perbaikan sifat mekanis, akan tetapi berpengaruh signifikan memperbaiki ketahanan korosi baja AISI 410. Implantasi ion nitrogen pada lapisan deposisi d.c. magnetron sputtering aluminium akan menutup pori-pori pada permukaan baja AISI 410, sehingga menghambat inisiasi retak dan kontak langsung dengan media korosif.