| dc.description.abstract | Emisi dari kendaraan bermotor dan pabrik telah menyumbang adanya polusi
udara yang berasal dari gas karbon monoksida (CO). Gas CO sangat berbahaya bagi
kehidupan manusia sehingga perlu dilakukan monitoring dengan menggunakan
sensor gas. Sensor gas pada umumnya terdiri dari empat bagian yaitu lapisan aktif
(sensitive layer), elektroda, substrat, dan heater. Dalam penelitian ini lapisan aktif
pada sensor gas yang digunakan berbasis film tipis TiO
:Au yang ditumbuhkan pada
temperatur 500c02C.
Pada penelitian ini terdapat tiga tahapan. Tahap pertama pembuatan pola heater
pada bagian bawah substrat dan tahap kedua pembuatan pola elektroda di atas film
tipis. Pola heater dan elektroda dibuat dengan menggunakan metode fotolitografi.
Pengujian terhadap heater dan elektroda dilakukan untuk mengetahui apakah heater
dan elektroda yang telah dibuat dapat bekerja dengan baik sebagai komponen sensor.
Pengujian heater terdiri dari tiga aspek antara lain: respon temperatur heater terhadap
arus masukan, waktu yang diperlukan heater untuk mencapai temperatur kerja, dan
resistansi heater terhadap arus masukan. Sedangkan pengujian yang dilakukan pada
elektroda yaitu besarnya resistansi elektroda pada temperatur kerja. Tahap akhir dari
penelitian ini adalah unjuk kerja sensor. Unjuk kerja sensor terdiri dari tanggapan
resistansi sensor terhadap temperatur dan konsentrasi gas CO.
Hasil pada pengujian respon temperatur heater terhadap arus masukan berupa
grafik eksponensial dengan nilai R2
sebesar 0,979. Arus yang diperlukan heater untuk
mencapai temperatur kerja adalah 1,3 ampere. Sedangkan waktu yang diperlukan
heater untuk mencapai temperatur kerja adalah 80 detik. Pengujian heater yang vterakhir adalah pengujian resistansi heater terhadap arus masukan. Hasil yang
diperoleh pada pengujian ini yaitu resistansi heater cenderung stabil pada arus
kerjanya. Dari hasil pengujian di atas maka heater sudah layak diaplikasikan dalam
sensor gas. | en_US |
