APLIKASI FILM TIPIS TiO2:Au YANG DITUMBUHKAN PADA TEMPERATUR 500 0C SEBAGAI SENSOR GAS CO

Abstract

Emisi dari kendaraan bermotor dan pabrik telah menyumbang adanya polusi udara yang berasal dari gas karbon monoksida (CO). Gas CO sangat berbahaya bagi kehidupan manusia sehingga perlu dilakukan monitoring dengan menggunakan sensor gas. Sensor gas pada umumnya terdiri dari empat bagian yaitu lapisan aktif (sensitive layer), elektroda, substrat, dan heater. Dalam penelitian ini lapisan aktif pada sensor gas yang digunakan berbasis film tipis TiO :Au yang ditumbuhkan pada temperatur 500c02C. Pada penelitian ini terdapat tiga tahapan. Tahap pertama pembuatan pola heater pada bagian bawah substrat dan tahap kedua pembuatan pola elektroda di atas film tipis. Pola heater dan elektroda dibuat dengan menggunakan metode fotolitografi. Pengujian terhadap heater dan elektroda dilakukan untuk mengetahui apakah heater dan elektroda yang telah dibuat dapat bekerja dengan baik sebagai komponen sensor. Pengujian heater terdiri dari tiga aspek antara lain: respon temperatur heater terhadap arus masukan, waktu yang diperlukan heater untuk mencapai temperatur kerja, dan resistansi heater terhadap arus masukan. Sedangkan pengujian yang dilakukan pada elektroda yaitu besarnya resistansi elektroda pada temperatur kerja. Tahap akhir dari penelitian ini adalah unjuk kerja sensor. Unjuk kerja sensor terdiri dari tanggapan resistansi sensor terhadap temperatur dan konsentrasi gas CO. Hasil pada pengujian respon temperatur heater terhadap arus masukan berupa grafik eksponensial dengan nilai R2 sebesar 0,979. Arus yang diperlukan heater untuk mencapai temperatur kerja adalah 1,3 ampere. Sedangkan waktu yang diperlukan heater untuk mencapai temperatur kerja adalah 80 detik. Pengujian heater yang vterakhir adalah pengujian resistansi heater terhadap arus masukan. Hasil yang diperoleh pada pengujian ini yaitu resistansi heater cenderung stabil pada arus kerjanya. Dari hasil pengujian di atas maka heater sudah layak diaplikasikan dalam sensor gas.