Browsing Karya Deposit Ilmiah by Author "Endhah Purwandari"
Now showing items 1-1 of 1
-
SIMULASI PENENTUAN DAYA RF OPTIMUM DALAM PROSES FABRIKASI SEL SURYA BERBASIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI
Endhah Purwandari; Toto Winata (2014-03-27)Penumbuhan lapisan tipis silikon amorf terhidrogenasi (a:Si-H) dengan menggunakan teknik HWC-VHF-PECVD telah dikembangkan pada variasi daya RF 6-12,5 watt. Simulasi terhadap parameter deposisi dari lapisan tipis a:Si-H ...