Browsing by Subject "d.c. magnetron sputtering"
Now showing items 1-2 of 2
-
Aplikasi Sputtering Aln Dan Wn Pada Baja Aisi 410 Sebagai Tool Bedah Tulang Dan Saraf
(Fak. Teknik'13, 2014-12)Mikro machining adalah proses pemesinan komponen-komponen dalam skala milimeter hingga mikrometer. Dalam bidang biomedis, proses mikro machining sangat diperlukan untuk tindakan operasi bedah tulang dan syaraf, karena ... -
Characteristic of AlN Layer Deposited by d.c. Magnetron Sputtering on AISI 410 Steel
(2019-04-10)The aim of this study is to investigate the effect of AlN sputtering with d.c. magnetron sputtering on surface roughness, specific wear and corrosion rate of the AISI 410 steel. AlN thin film was deposited on AISI 410 ...