Disain Dan Fabrikasi Sensor Gas CO Berbasis Titanium Dioksida (TiO2) Nanokristal

Abstract

Penelitian ini bertujuan untuk mendisain dan memfabrikasi sensor gas CO yang berbasis nanokristal Titanium Dioksida (TiO2). Pertama-tama ditumbuhkan di atas substrat Si (001) dengan teknik spin-coating. Pada tahapan ini dilakukan optimasi penumbuhan film tipis (TiO2), bertujuan untuk mendapatkan film tipis yang berkualitas baik secara morfologi, struktur butiran penyusun film tipis serta sifat listriknya. Kondisi optimum tersebut digunakan untuk melakukan rekayasa terhadap film tipis TiO2 melalui pendadahan dengan unsure elemen Au. Pada tahapan selanjutnya ini dilakukan optimasi besarnya konsentrasi Au, untuk mendapatkan film tipis TiO2: Au berkualitas baik. Kondisi penumbuhan, konsentrasi optimum Au dijadikan sebagai acuan dalam membuat sensor gas yang berbasis TiO2 pada tahap berikutnya. Pendadahan Au bertujuan untuk meningkatkan sensitivitas deteksi dan kestabilan dari sensor. Interdigital Tranducer (IDT) sebagai elektroda dan heater sebagai pemanas dipolakan pada film tipis TiO2: Au memakai teknik fotolithografi. Unjuk kerja divais sensor diukur berdasarkan pada perubahan resistansi sensor terhadap gas CO pada temperature tertentu dan terhadap variasi konsentrasi gas. Langkah ini dilakukan pada tahun kedua.Untuk mengetahui sifat film beberapa teknik pengujian dilakukan, seperti: struktur Kristal menggunakan X-Ray diffractometer (XRD), komposisi kimia dengan Energy Dispertion Spectroscope (EDS), citra permukaan dan penampang film tipis memakai Scanning Electron Microscope (SEM), energy band gap diuji dengan spectroscope reflectance optical dan uji transport listrik dengan menggunakan teknik empat titik metode van der Paw.

Kata kunci : sensor gas, film tipis TiO2