Disain Dan Fabrikasi Sensor Gas Co Berbasis Titanium Dioksida (TiO2) Nanokristal

Abstract

Penelitian ini bertujuan untuk mendisain dan memfabrikasi sensor gas CO yang berbasis nanokristal Titanium Dioksida (TiO2). Pada penelitian tahun kedua ini telah berhasil ditumbuhkan film tipis TiO2:Au diatas substrat Si(100) memakai metode spin-coating. Prekursor yang digunakan titanium (IV) isopropoxide [Ti{OCH(CH3)2}4]. Prekursor yang digunakan adalah titanium (IV) isopropoxide [Ti{OCH(CH3)2}4] dan Au2O3. Bahan Au2O3 dilarutkan ke dalam pelarut tetrahydrofuran (THF, C4H8O) dengan konsentrasi 0.4 M, 0.3 M, 0.2M dan 0.1 M. Larutan yang diperoleh dan bahan [Ti{OCH(CH3)2}4] kemudian dicampur dengan perbandingan 1: 4. Film tipis TiO2:Au yang dipanaskan dalam oven pada temperatur 5000C, mempunyai bidang kristal fase tunggal rutile (002), ketebalan film sekitar 0,4 m, energi gap film sekitar 3,44 eV. Morfologi permukaan film tipis tersusun oleh butiran yang berorde nanometer. Teramati suatu hubungan yang linier antara arus dan tegangan, yang artinya bahwa Ag bersifat Ohmik terhadap TiO2:Au. Pada selanjutnya film tipis TiO2:Au digunakan sebagai basis divais sensor gas. Pada tahapan ini dilakukan perancangan dan pembuatan lay Out Sensor, desain lapisan sensor, pembuatan desain lay out heater, desain lapisan coating Heater, pembuatan desain layout elektroda sensor dan desain lapisan coating elektroda.